洁净厂房设计规范 GB50073-2013
前言
1 总则
2 术语
3 空气洁净度等级
4 总体设计
4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置
4.2 工艺平面布置和设计综合协调
4.3 人员净化和物料净化
4.4 噪声控制
4.5 微振控制
5 建筑
5.1 一般规定
5.2 防火和疏散
5.3 室内装修
6 空气净化
6.1 一般规定
6.2 洁净室压差控制
6.3 气流流型和送风量
6.4 空气净化处理
6.5 采暖通风、防排烟
6.6 风管和附件
7 给水排水
7.1 一般规定
7.2 给水
7.3 排水
7.4 消防给水和灭火设备
8 工业管道
8.1 一般规定
8.2 管道材料和阀门
8.3 管道连接
8.4 安全技术
9 电气
9.1 配电
9.2 照明
9.3 通信
9.4 自动控制
9.5 静电防护及接地
附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证
A.1 通则
A.2 洁净室或洁净区性能测试要求
A.3 洁净室主要测试方法
附录B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
附录C 净化空调系统设计对维护管理的要求
本规范用词说明
引用标准名录
A.4 监测
A.5 认证